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湖南省株洲市天元區泰山西路2008號聯合廠房八

氮化硅陶瓷基板爐
產品介紹
氮化硅陶瓷基板爐具有高穩定性、高人性化、低維護的特點，采用非接觸式高溫測量、真空系統過濾保護、獨特尾氣處理設計。主要用于氮化硅流延基板先進材料等進行真空，脫氣、加壓致密化等，廣泛應用于航天航空、電子電器半導體等領域。
 
產品參數
裝料空間（W*H*L） 600*600*1400
溫度均勻性 ≤±4℃
最高工作溫度 2200℃
最高工作壓力 2MPa

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